真空应用中，超真空法兰、真空材料会因为各式各样的因素，难以避免地遭到各类尘埃、氧化物、油脂等等的污染。当污染物影响到真空系统运行或真空材料卫生的时候，就需要对超真空法兰和真空材料进行清洗，下面为大家介绍以下几种清洗方法。

　　真空运用中，超真空法兰、真空原材料会由于各种各样的要素，难以避免地遭到各种尘埃、氧化物、油脂这些的污染。当污染物影响到真空系统运转或真空原材料卫生的那时候，就须要对超真空法兰和真空原材料进行清洗，下边为大家详细介绍以下几类清洗方式。

　　一、法兰溶剂清洗

　　溶剂清洗是真空系统清洗中最为普遍的一种方法。常见的清洗溶剂包括有机溶剂、含洗涤剂的水、稀酸、碱、石油分馏物、各种金属清洗剂等等。根据污染物的不同，需要用不同的溶剂进行清洗。如矿物油脂需要用有机溶剂，锈蚀物需要用酸性金属清洗剂等。

　　二、法兰超声波清洗

　　超声波清洗是利用超声空隙作用来清洗目标，可以实现很强的物理清洗作用，清除较强粘附污染物。超声波清洗可以进入复杂的异形孔道，是很多清洗方法无法实现的。超声波清洗在应用中，需要根据污染物的不同，配合各类清洗溶剂。

　　三、法兰蒸汽脱脂清洗

　　蒸汽脱脂清洗适用于对表面油脂膜和类脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗。一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果，常用于玻璃物件清洗的最后一步。

　　四、法兰电解侵蚀清洗

　　电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，如不锈钢，耐热钢，镍基合金等。

　　五、法兰加热和辐照清洗

　　加热清洗主要是将部件置于常压或真空中加热，使其表面上的易挥发污染物挥发来达到清洗的目的。辐照清洗则是通过紫外辐照来分解部件表面上的碳氢化合物。

　　六、法兰放电清洗

　　放电清洗一般用于高真空、超高真空系统清洗中。利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除。放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系。

　　七、法兰氮气清洗

　　氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间。